レーザーテック：新型半導体検査装置：回路焼き付用マスク･ＥＵＶＬ技術（動画）：
Lasertec:New semiconductor inspection equipment: Mask for circuit printing/EUVL：
Lasertec：新型半导体检测设备：电路印刷用掩模/EUVL技术
2019年10月4日 12:30 JST
- サムスンやＴＳＭＣがＥＵＶＬを使った半導体を量産
- 株価は昨年末に比べ約2.4倍の7000円と上場来高値水準
半導体検査装置メーカー：レーザーテック：岡林理社長
極端紫外線露光（ＥＵＶＬ）と呼ばれる微細化技術向け新型機について’複数社からの引き合いがある’ことを発表。
岡林社長は､｢2017年９月､半導体メーカー１社から､160億円で受注していた｣ことを明らかにした。
スマートフォンなど５Ｇ（次世代通信規格）関連向けに半導体を製造するメーカーからの関心も高いと述べた。
具体的な社名の言及は控えています。
回路焼き付用マスク：ＥＵＶＬ技術･検査装置
同社は９月に世界で初めて、回路焼き付けに使うマスクをＥＵＶＬ技術で検査する装置を完成させた。
レーザーテック：
2013年以降、ＥＵＶＬ関連の検査装置をライバルに先駆け製品化。
2017年にはマスクの原板となるマスクブランクス検査装置の販売を開始。
今期（20年６月期）のＥＵＶＬ関連売上高は前期比約2.5倍の176億円を見込み（全体の４割強を占める）
５Ｇ技術向け：半導体の微細化
スマホの高機能化や自動運転の実現の鍵を握る５Ｇ技術向けに、半導体の微細化に向けた開発競争が続いている。
ＥＵＶＬ技術を使えば､ウエハーにより細い回路を描くことができる。
Bloomberg
https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2019-10-04/PYS4EVT0AFBB01