SCREEN:毎時1200枚を実用処理!
Verwerking van 1200 vellen per uur!
Verarbeitung von 1200 Blatt pro Stunde!
Processing of 1200 sheets per hour!
每小時實際處理 1200 張！
ー半導体・IMECと共同開発ー
ー枚葉式洗浄装置の新製品ー
ＳＣＲＥＥＮホールディングス：
１２月７日、
ー最大毎時１２００枚の実用処理が可能で省スペース化を実現ー
枚葉式洗浄装置「ＳＵ―３４００＝写真」を発売した。
枚葉式洗浄装置
ＳＵ―３４００
- 半導体回路の微細化や高集積化に伴い、
- 高い洗浄度や安定した処理能力を併せ持つ、
洗浄装置を使いたいニーズに対応する。
既存品からの置き換えに加えて、
- バッチ式から枚葉式に転換する。
- 新規顧客獲得も視野に入れる。
チャンバー数６段：
新製品は洗浄処理チャンバーを小型化し、
「１タワー搭載可能なチャンバー数」を、「４段から６段」にした。
従来品と同じ２４チャンバーを搭載し、設置面積は従来品比３割削減した。
毎時１２００枚
実用処理能力「装置内でウエハーを搬送するロボットや部品」を刷新した。
最大毎時１２００枚の実用処理能力を実現。
洗浄ノズルの改良などで、
「薬液使用量も節減し、環境負荷低減」に寄与する。
「特にメモリー向け」では、
複数ウエハー処理では、「バッチ式から、枚葉式への転換」が見込まれる。
ニュースイッチ
SCREEN：国際研究機関IMECと技術確立
SCREENホールディングス：
ベルギーを拠点のIMECと、
「環境性能が高い半導体製造技術の共同開発契約」を結んだ。
「先端半導体に対応した技術の確立」を目指す。
IMECとSCREEN：
今後、洗浄装置やコーターデベロッパーの性能などを検証する。
枚葉式洗浄装置
SU―3200
- 2023年に枚葉式洗浄装置「SU―3200」をimecに納入。
- 技術者を派遣するなどして、共同開発を実施。
品質向上やコスト、環境負荷低減につながる開発を進める。
（ニュースイッチ） – Yahoo!ニュース
https://news.yahoo.co.jp/articles/eb2ea0760e9205a5fc777e29451e4746e6042f84
SCHERM: Praktische verwerking van 1200 vellen per uur!
-Gezamenlijke ontwikkeling met semiconductor/IMEC-
– Nieuwe reinigingsapparatuur voor enkele wafels –
SCREEN-holdings:
7 december
Voor praktisch gebruik kunnen maximaal 1.200 vellen per uur worden verwerkt en wordt ook ruimte bespaard.
Vrijgegeven single-wafer reinigingsapparatuur “SU-3400 = foto”.
Reinigingsapparatuur voor enkele wafels
SU-3400
Met de miniaturisatie en hoge integratie van halfgeleidercircuits,
De combinatie van hoge reiniging en stabiele verwerkingscapaciteit,
Speelt in op behoeften voor het gebruik van reinigingsapparatuur.
Naast het vervangen van bestaande producten,
Omzetten van batchtype naar type enkele wafel.
We zullen ook nadenken over het werven van nieuwe klanten.
6 kamers:
Het nieuwe product heeft een kleinere reinigingsverwerkingskamer,
“Het aantal kamers dat in één toren kan worden geïnstalleerd” is gewijzigd van “4 naar 6”.
Uitgerust met dezelfde 24 kamers als het conventionele product, is het installatiegebied met 30% verkleind in vergelijking met het conventionele product.
1200 vellen per uur
Praktische verwerkingscapaciteit
De “robots en onderdelen die wafers transporteren in de apparatuur” zijn vernieuwd.
Bereikt een maximale praktische verwerkingscapaciteit van 1200 vellen per uur.
Door het verbeteren van het reinigingsmondstuk, enz.
Draagt bij aan “het verminderen van de hoeveelheid gebruikte chemicaliën en het verminderen van de impact op het milieu.”
In “speciaal voor het geheugen”,
Bij multi-wafer processing wordt een verschuiving verwacht van batch processing naar single-wafer processing.
nieuwe schakelaar
SCREEN: Internationaal onderzoeksinstituut IMEC en technologiebedrijf
SCREEN-holdings:
Het in België gevestigde IMEC en
Ze tekenden een “gezamenlijke ontwikkelingsovereenkomst voor halfgeleiderproductietechnologie met hoge milieuprestaties”.
Streven naar “vestiging van technologie die overeenkomt met geavanceerde halfgeleiders”.
IMEC en SCREEN:
In de toekomst zullen we de prestaties van de reinigingsapparatuur en coater/ontwikkelaar verifiëren.
Reinigingsapparatuur voor enkele wafels
SU―3200
In 2023 leveren we het single-wafer cleaning systeem “SU-3200” aan imec.
Voer gezamenlijke ontwikkeling uit door ingenieurs te sturen.
Stimuleer ontwikkeling die leidt tot kwaliteitsverbetering, kostenreductie en vermindering van de belasting van het milieu.
(Nieuwe schakelaar) – Yahoo!-nieuws
SCREEN: Praktische Verarbeitung von 1200 Blatt pro Stunde!
-Gemeinsame Entwicklung mit Halbleiter/IMEC-
– Neue Einzelwafer-Reinigungsanlage –
SCREEN-Bestände:
7. Dezember,
Für den praktischen Einsatz können maximal 1.200 Bogen pro Stunde verarbeitet werden, zudem wird Platz sparend realisiert.
Freigegebenes Einzelwafer-Reinigungsgerät “SU-3400 = Foto”.
Einzelwafer-Reinigungsanlage
SU-3400
Mit der Miniaturisierung und Hochintegration von Halbleiterschaltungen
Kombination aus hoher Reinigungs- und stabiler Verarbeitungskapazität,
Reagiert auf die Bedürfnisse für die Verwendung von Reinigungsgeräten.
Neben dem Austausch bestehender Produkte,
Konvertieren Sie vom Batch-Typ zum Single-Wafer-Typ.
Wir werden auch die Gewinnung neuer Kunden prüfen.
6 Kammern:
Das neue Produkt hat eine kleinere Reinigungskammer,
“Die Anzahl der Kammern, die in einem Turm installiert werden können” wurde von “4 auf 6” geändert.
Ausgestattet mit den gleichen 24 Kammern wie das herkömmliche Produkt, wurde die Installationsfläche im Vergleich zum herkömmlichen Produkt um 30 % reduziert.
1200 Blatt pro Stunde
Praktische Verarbeitungskapazität
Die “Roboter und Teile, die Wafer in der Anlage transportieren” wurden erneuert.
Erreicht eine maximale praktische Verarbeitungskapazität von 1200 Blatt pro Stunde.
Durch Verbesserung der Reinigungsdüse etc.
Trägt dazu bei, “die Menge der verwendeten Chemikalien zu reduzieren und die Umweltbelastung zu verringern”.
In “besonders für die Erinnerung”,
Bei der Multi-Wafer-Verarbeitung wird eine Verlagerung von der Batch-Verarbeitung zur Single-Wafer-Verarbeitung erwartet.
neuer Schalter
SCREEN: Internationales Forschungsinstitut IMEC und Technologieeinrichtung
SCREEN-Bestände:
Belgien ansässige IMEC und
Sie unterzeichneten eine „gemeinsame Entwicklungsvereinbarung für Halbleiterherstellungstechnologie mit hoher Umweltleistung“.
Ziel ist die „Etablierung einer Technologie, die fortgeschrittenen Halbleitern entspricht“.
IMEC und BILDSCHIRM:
In Zukunft werden wir die Leistung der Reinigungsgeräte und des Beschichters/Entwicklers überprüfen.
Einzelwafer-Reinigungsanlage
SU-3200
2023 werden wir die Einzelwafer-Reinigungsanlage „SU-3200“ an imec liefern.
Gemeinsame Entwicklung durch entsendende Ingenieure durchführen.
Förderung einer Entwicklung, die zu Qualitätsverbesserung, Kostensenkung und Verringerung der Umweltbelastung führt.
(Neuer Switch)-Yahoo!-Nachrichten