産総研:10nm極薄有機半導体単結晶膜ウエハー:簡便な印刷法で作製(動画):
AIST:10nm ultra-thin organic semiconductor single crystal film wafer:by printing method:
AIST:10nm超薄有机半导体单晶膜晶圆:通过简单的印刷方法制造
東京大/マテリアルイノベーションセンター/物質・材料研究機構/パイクリスタル
共同研究グループは、高性能トランジスタとして利用可能な有機半導体ウエハーを簡便な印刷法により作製しました。
発表のポイント:
- 簡便な印刷法を用いて厚さがわずか10ナノメートルの極薄有機半導体単結晶膜のウエハーの作製に成功。
- ウエハー上に作製した1,600個のトランジスタが欠陥なく全て駆動
- 平均の移動度は実用化の指標となる約10 cm2/Vsを示すことが判明
印刷規模の大面積化により、「高速有機トランジスタ集積回路の大量生産」が期待されます。
- 従来の有機半導体印刷に比べて、今回の印刷方法では材料消費が極めて少ない。
- また印刷面積の大規模化においてプロセス時間短縮につながると考えられます。
- 将来の産業応用で、大きなコストダウンが見込まれます。
本研究成果は、英国科学雑誌「Scientific Reports」2019年11月4日版に掲載されます。
https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2019/pr20191105/pr20191105.html