産総研:ミニマルファブ、集積回路少量生産成功ークリーン・ルーム不要(動画):
AIST: Minimal Fab,Small-scale Integrated Circuit Production-No need for clean room:
AIST:最小的Fab,小规模集成电路生产成功 – 无需洁净室
「JAXA」:少量生産システム(ミニマルファブ)
少量生産システム(ミニマルファブ)(図1)による”宇宙用集積回路製造の実現”を目指しています。
“1000トランジスタ規模の集積回路(4ビットシフトレジスタおよびI/O回路)を設計する装置”を開発しました。、
「産総研」:配線プロセス技術
実用SOI-CMOS 2層アルミ配線プロセス技術(図2・Technology 2018)を用いて集積回路を試作(図3)
その集積回路の動作実証に成功しました(図4)。
集積回路設計者:自ら集積回路を製造
全て、フルオートで集積回路・製造装置群を自動操作します。
ミニマルファブで、集積回路・設計者が、自ら集積回路を製造できるシステムを開発、
JAXAの回路設計者が自らミニマルファブを操作して上記集積回路の実証に成功した。
今回の成功で、宇宙機に搭載する集積回路を、ミニマルファブで製造する道が拓けました。
https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2019/pr20190510/pr20190510.html