AIST：最小的Fab，小规模集成电路生产成功 – 无需洁净室
“JAXA”：小批量生产系统（最低工厂）
我们的目标是通过小批量生产系统（最小工厂）实现“空间集成电路制造”（图1）。
我们开发了“设计1000个晶体管规模的集成电路（4位移位寄存器和I / O电路）的器件”。 ，
“AIST”：布线工艺技术
原型集成电路采用实用的SOI-CMOS双层铝布线工艺技术（图2·技术2018）（图3）
已成功演示集成电路的操作（图4）。
集成电路设计人员：制造自己的集成电路
全部在全自动模式下自动操作集成电路和制造设备。
在最小的晶圆厂中，集成电路和设计人员开发出可以自行制造集成电路的系统。
JAXA的电路设计师通过操纵最小的晶圆厂成功地演示了上述集成电路。
凭借这一成功，我们开辟了用最少的晶圆厂制造航天器集成电路的方法。
https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2019/pr20190510/pr20190510.html