兵庫県立大：日本唯一のEUVリソグラフィー施設：放射光ニュースバル（動画）：
Univ of Hyogo: Japan’s only EUV facility:Synchrotron Radiation NewSUBARU:
兵库県立大：日本唯一的EUV光刻设备：同步辐射NewSUBARU
ーニュースバルに新たな入射器、性能向上ー
ー次世代半導体の微細加工技術に貢献ー
兵庫県立大学：
兵庫県立大学の中型放射光施設ニュースバル
ニュースバルに、新たな入射器が整備されました。
報道陣に公開：
兵庫県立大学のニュースバル
2000年からニュースバルは、
次世代半導体の微細加工技術をはじめ、
スマートフォン基幹装置の開発に携わり、
動画処理機能高速化や製造コスト低減に、貢献してきました。
新型の入射器：ニュースバルの高度化を目指し、去年建設されました。
3カ月間の調整を経て、今月20日から利用が開始。
放射光強度20％向上：
この入射器を使うことで放射光の強度が20％向上します。
「企業側の高度な課題に、効率よく応えることができるようになった」とのこと。
兵庫県立大学：
今後ニュースバルで、世界における日本の半導体技術覇権の課題を克服したいとしています。
（サンテレビ） – Yahoo!ニュース
https://news.yahoo.co.jp/articles/cdc923e37b9fcf6b844601621f6b7c290e5bd90b
兵庫県立大学：ニュースバルの入射器新設、報道向け内覧会
趣旨：
兵庫県立大学が有する中型放射光施設ニュースバル(2000 年 1 月供用開始)
理化学研究所：
大型放射光施設「SPring-8」、
X 線自由電子レーザー施設「SACLA」と
同じ 敷地内にあり、相補関係にある中型放射光施設です。
また、日本の大学が保有する放射光施設としては、最大のものです。
ニュースバル：
従来、SPring-8 から供給を受けていた電子ビームを交換します。
専用電子ビーム発生装置(入射器)の整備が 、SPring-8 加速器チームのもと、進められてきました。
このたび、新しい入射器の整備が完了、試験運転を終えました。
本格的に企業等の利用に供する前に、報道機関向け内覧会を開催しました。
ニュースバルの概要：
ニュースバルが得意とする軟X線分野。
炭素等の軽元素を中心とした材料開発・加工 に適しています。
これまで日本が世界的な優位性を持つ領域
特に、
次世代半導体材料・装置開発、
次世代リチウムイオン電池の電極材料、
次世代金属微細加工の分野で、
産業界の研究開発に貢献してまいりま した。
極端紫外線リソグラフィ(EUVL)技術：
次世代半導体微細加工技術の極端紫外線リソグラフィ(EUVL)
EUVLは、スマホのCPU製造に使われています。
2020 年より、半導体回路の微細化に欠かせない技術となりました。
この微細加工技術は半導体チップ の回路線幅を、小さくする技術です。
動画処理機能の高速化等の性能向上、
低消費電力、製造コストの低減等に貢献しています。
https://www.hyogo-c.ed.jp/~board-bo/syakai.html
ニュースバル：施設利用に関する重要なお知らせ