東京エレクトロン：マクロ検査装置’RAYSENS’販売開始：目視/抜取検査自動化（動画）：
Tokyo Electron: macro inspection device “RAYSENS”: Visual/sampling inspection automation：
东京电子：宏检查设备“ RAYSENS”的销售开始：外观检查/抽样检查自动化
東京エレクトロン：
発表日:2020年6月9日
～目視検査・抜き取り検査を自動化し、検査工数削減とウェハの品質安定化を実現～
デバイス（TED）：
化合物半導体ウェハ表面の欠陥を高速、高感度で検出するマクロ検査装置「RAYSENS」の販売を開発します。
2020年6月9日から販売。
日本経済新聞
マクロ検査装置： RAYSENS
特徴
- 超低ノイズマクロ光学センサ：専用照明で、ウェハ表面/微小変化を高感度で検出
- 専用光学類、統合ソフト：高効率搬送ローダで、高スループットを実現
- 透明（半透明）ウェハ：幅広く検査が可能
- パターン付、ベアウェハ：両方の検査も可能
- 専用統合アプリ：装置制御・画像取込み・判定までシームレスに実行可能
- 最終外観検査を想定：ウェハ表裏面/非接触搬送検査で、ウェハ裏面/異物付着問題を抑制
製品仕様：
ウェハサイズ ：200mm (オープンカセット対応）
ピクセルサイズ ：7μm , 14μm, 28μm , 50μm
- 照明 LED均一ライン照明
- 高輝度ファイバ照明
- ウェハ搬送方式 手置き
- 搬送ローダー仕様
- アプリケーション 光学部統合制御、
- メカ部統合制御、
- イメージスキャン、
- マクロ検査専用画像処理機能、
- 欠陥検出判定機能
- イオナイザ
- HEPAフィルタ
inrevium｜東京エレクトロンデバイス