住友電工：高品質6インチSiC基板を開発：”CrystEra®” の製品化：
Sumitomo Electric develops high-quality 6-inch SiC substrate:”CrystEra®”：
住友电工开发高质量的6英寸SiC衬底：将“CrystEra®”商业化
住友電工：
2020年5月11日、新たに、高品質6インチ（150mm径）SiC単結晶基板 “CrystEra成功しました。
低転位密度で厚みバラツキや反りを低減したパワーデバイス用の6インチ（150mm径）SiC単結晶基板です。
2020年度下期から、開発した基板を、SiCエピタキシャル基板製品に適用する方針。
6インチSiC単結晶基板：「CrystEra」
新たに製品化する6インチSiC単結晶基板「CrystEra」は、
- 同社の化合物半導体技術に加え、
- 高精度シミュレーションなどを取り入れた
- 独自技術「MPZ1」を駆使した成長炉を活用。
さらに、｢硬脆性なSiCに適した加工技術の構築｣により、｢低転位密度でありながら､厚みバラツキや反りを低減｣に成功したという。
EE Times Japan
https://eetimes.jp/ee/spv/2005/13/news025.html
高品質SiC 6インチ単結晶基板 “CrystEra®” の製品化に成功
2020年5月11日
住友電工：
住友電工は、6インチSiCパワーデバイス用単結晶基板 “CrystEra®” の開発に成功し、
2020年度下期より当社SiCエピタキシャル基板 “EpiEra®” への適用を開始します。
パワーデバイス：
電力制御用の半導体デバイスであり、電力、鉄道、自動車、家電など様々な分野で使われています。
省エネルギーの観点：
- より高効率で
- 電力ロスの少ない
- 高性能なデバイスが求められています。
サプライチェーン：
基板～エピタキシャル基板～デバイス
SiC (炭化ケイ素) は、パワーデバイスその中で最も注目されている半導体材料の1つです。
しかし、サプライチェーンはまだ安定していません。
SiC市場において、｢基板～エピタキシャル基板～デバイスの一貫生産/可能なメーカーへの期待｣が高まっております。
さらに適用範囲拡大に伴い、｢材料面の高品質化に対する期待｣も、ますます大きくなっております。
当社独自技術： “MPZ®”
今回、当社独自技術 “MPZ®”*1を駆使しました。
- 成長炉の活用、
- 硬脆性なSiCに適した
- 加工技術の構築により、
低転位密度かつ厚みバラツキや反りが低減されたSiCパワーデバイス用の6インチ (150mm径) 基板 (製品名 “CrystEra®”) の製品化に成功いたしました。
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