🎇IoT・車載向け半導体デバイスの製造に最適な200mmウエハーに対応 i線・KrF半導体露光装置2機種用“200mmオプション”を発売

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🎇IoT・車載向け半導体デバイスの製造に最適な200mmウエハーに対応
i線・KrF半導体露光装置2機種用“200mmオプション”を発売

キヤノンは、メモリー・ロジック・イメージセンサーなどIoT・車載向け半導体デバイスの量産において定評のあるi線半導体露光装置※1「FPA-5550iZ2」（2016年12月発売）とKrF半導体露光装置※2「FPA-6300ES6a」（2012年4月発売）に対応する“200mmオプション”を本日より発売します。

キヤノングローバル

http://global.canon/ja/news/2017/20171211.html

http://global.canon/en/news/2017/20171211.html

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