TDKのマイクロ磁石：厚さ100μmを実現！
Les micro-aimants de TDK : 100 μm d’épaisseur !
Mikromagnete von TDK: 100 μm dick!
TDK’s Micro Magnets: 100μm Thick!
TDK 的微型磁鐵：100μm 厚！
ー直径1.5mmの超小型モーターの開発ー
TDK：
ー「nano tech 2023」ー
直径1.5mmの超小型モーター開発が可能になる「マイクロ磁石」を披露した。
独自の製造プロセス：
「厚さ100μmのサマリウムコバルト磁石を成膜する技術」によって実現した。
半導体製造プロセスへ適用：
ー半導体製造プロセスへの適用も可能ー
MEMS（微小電子機械システム）への応用も可能としている。
ネオジムでの薄型化：
ネオジムなど、「希土類材料を用いた焼結磁石の薄型化を図る場合」は、
一般的に、切削加工で作製する。
切削加工の限界：
しかし、「その高い磁気特性を維持できる薄さ」は、500μmまでが限界。
一方、「スパッタリングで磁石膜を成形する方法」もある。
しかし、10μm以上の厚膜化は困難だ。
TDK 技術・知財本部：
マイクロ磁石の特徴：
ーネオジムに次ぐ高い磁気特性を持つSm-Co磁石ー
マイクロ磁石は、「これまで製造が困難だった100μm前後の厚みを実現できる」のだ。
アクチュエータとして活用：
これだけの厚みがあれば、「モーターなどのアクチュエータとしての活用」が可能になる。
MEMSへの適用：
- Sm粉が溶けた溶融塩に触れた基材の表面が磁石化する。
- 凹凸表面への均一な磁石膜の成膜が可能である。
- それ故に、MEMSへの適用も容易なのだ。
高温処理と低酸素環境が必要：
「MEMSで用いられる半導体製造プロセス」は、
「既に、熱処理プロセスでも用いられている」ので、組み込みが可能。
利用分野：
ー今回のnano tech 2023への出展ー
マイクロ磁石を用いた製品開発に興味のあるパートナーを募りたい。
応用案：
マイクロポンプ、
アウターローター型モーター、
磁気浮上ミラー、
変位センサー、
ボイスコイルアクチェータなどもある。– MONOist
https://monoist.itmedia.co.jp/mn/articles/2302/10/news065.html
Les micro-aimants de TDK : 100 μm d’épaisseur !
ーDéveloppement d’un moteur ultra-compact d’un diamètre de 1,5 mmー
TDK :
ー 「 nano technologie 2023 」 ー
Ils ont dévoilé un “micro-aimant” qui permet de développer des moteurs ultra-compacts d’un diamètre de 1,5 mm.
Processus de fabrication exclusif :
Il a été réalisé par “la technologie de dépôt d’un aimant samarium-cobalt d’une épaisseur de 100 μm”.
Application au procédé de fabrication de semi-conducteurs :
-Applicable aux procédés de fabrication de semi-conducteurs-
L’application aux MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) est également possible.
Amincissement au Néodyme :
Lorsque vous essayez de fabriquer des aimants frittés à l’aide de matériaux de terres rares tels que le diluant au néodyme,
Généralement, il est produit par découpage.
Limites d’usinage :
Cependant, la finesse qui permet de conserver ses propriétés magnétiques élevées est limitée à 500 μm.
D’autre part, il existe également un procédé de formation d’un film magnétique par pulvérisation.
Cependant, il est difficile de rendre le film plus épais que 10 µm.
Siège de la technologie et de la propriété intellectuelle de TDK :
Caractéristiques du micro-aimant :
-Aimant Sm-Co avec des propriétés magnétiques élevées juste derrière le néodyme-
Les micro-aimants peuvent atteindre une épaisseur d’environ 100 μm, ce qui était auparavant difficile à fabriquer.
Utilisation comme actionneur :
Avec cette épaisseur, il peut être utilisé comme actionneur tel qu’un moteur.
Application aux MEMS :
La surface du matériau de base qui touche le sel fondu dans lequel la poudre de Sm est dissoute devient magnétisée.
Il est possible de former un film magnétique uniforme sur la surface inégale.
Par conséquent, il est facile à appliquer aux MEMS.
Nécessite un traitement à haute température et un environnement à faible teneur en oxygène :
“Procédé de fabrication de semi-conducteurs utilisé dans les MEMS”
“Déjà utilisé dans le processus de traitement thermique”, il peut donc être incorporé.
Domaine d’utilisation :
-Exposition à nano tech 2023-
Nous aimerions recruter des partenaires intéressés par le développement de produits utilisant des micro-aimants.
Application:
micro-pompe,
moteur à rotor extérieur,
miroir à lévitation magnétique,
capteur de déplacement,
Il y a aussi un actionneur de bobine mobile.
– MONOiste
Mikromagnete von TDK: 100 μm dick!
ーEntwicklung eines ultrakompakten Motors mit einem Durchmesser von 1,5 mmー
TDK:
„Nanotech 2023“.
Sie stellten einen „Mikromagneten“ vor, der die Entwicklung ultrakompakter Motoren mit einem Durchmesser von 1,5 mm ermöglicht.
Proprietäres Herstellungsverfahren:
Es wurde durch “Technologie zum Abscheiden eines Samarium-Kobalt-Magneten mit einer Dicke von 100 μm” realisiert.
Anwendung auf den Halbleiterherstellungsprozess:
-Anwendbar auf Halbleiterfertigungsprozesse-
Eine Anwendung auf MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ist ebenfalls möglich.
Verdünnung mit Neodym:
Beim Versuch, gesinterte Magnete mit Seltenerdmaterialien wie Neodym-Verdünner herzustellen,
Im Allgemeinen wird es durch Schneiden hergestellt.
Bearbeitungsgrenzen:
Die Dünnheit, die seine hohen magnetischen Eigenschaften beibehalten kann, ist jedoch auf 500 μm begrenzt.
Andererseits gibt es auch ein Verfahren zum Bilden eines Magnetfilms durch Sputtern.
Es ist jedoch schwierig, den Film dicker als 10 µm zu machen.
TDK-Hauptsitz für Technologie und geistiges Eigentum:
Eigenschaften des Mikromagneten:
-Sm-Co-Magnet mit hohen magnetischen Eigenschaften, die nur von Neodym übertroffen werden-
Mikromagnete können eine Dicke von etwa 100 μm erreichen, was bisher schwierig herzustellen war.
Verwendung als Aktor:
Mit dieser Dicke kann es als Aktuator, beispielsweise als Motor, verwendet werden.
Anwendung auf MEMS:
Die Oberfläche des Grundmaterials, die die Salzschmelze berührt, in der das Sm-Pulver gelöst ist, wird magnetisiert.
Es ist möglich, einen gleichmäßigen Magnetfilm auf der unebenen Oberfläche zu bilden.
Daher ist es einfach, es auf MEMS anzuwenden.
Erfordert eine Hochtemperaturverarbeitung und eine sauerstoffarme Umgebung:
“Halbleiterherstellungsprozess in MEMS verwendet”
“Bereits im Wärmebehandlungsprozess verwendet”, kann also eingearbeitet werden.
Anwendungsgebiet:
-Ausstellung auf der nano tech 2023-
Wir möchten Partner rekrutieren, die an der Produktentwicklung mit Mikromagneten interessiert sind.
Anwendung:
Mikropumpe,
Außenläufermotor,
Magnetschwebespiegel,
Verschiebungssensor,
Es gibt auch einen Schwingspulenaktuator.
– MONOist