TDK’s Micro Magnets: 100μm Thick!
ーDevelopment of an ultra-compact motor with a diameter of 1.5mmー
TDK:
ー「nano tech 2023」ー
They unveiled a “micro magnet” that enables the development of ultra-compact motors with a diameter of 1.5 mm.
Proprietary Manufacturing Process:
It was realized by “technology to deposit a samarium-cobalt magnet with a thickness of 100 μm”.
Application to semiconductor manufacturing process:
-Applicable to semiconductor manufacturing processes-
Application to MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) is also possible.
Thinning with Neodymium:
When trying to make sintered magnets using rare earth materials such as neodymium thinner,
Generally, it is produced by cutting.
Machining limits:
However, the thinness that can maintain its high magnetic properties is limited to 500 μm.
On the other hand, there is also a method of forming a magnet film by sputtering.
However, it is difficult to make the film thicker than 10 μm.
TDK Technology and Intellectual Property Headquarters:
Micro magnet features:
-Sm-Co magnet with high magnetic properties second only to neodymium-
Micromagnets can achieve a thickness of around 100 μm, which was previously difficult to manufacture.
Use as an actuator:
With this thickness, it can be used as an actuator such as a motor.
Application to MEMS:
The surface of the base material that touches the molten salt in which the Sm powder is dissolved becomes magnetized.
It is possible to form a uniform magnet film on the uneven surface.
Therefore, it is easy to apply to MEMS.
Requires high temperature processing and low oxygen environment:
“Semiconductor manufacturing process used in MEMS”
“Already used in the heat treatment process”, so it can be incorporated.
Field of use:
-Exhibition at nano tech 2023-
We would like to recruit partners who are interested in product development using micro magnets.
Application:
micro pump,
outer rotor motor,
magnetic levitation mirror,
displacement sensor,
There is also a voice coil actuator.
– MONOist
https://monoist.itmedia.co.jp/mn/articles/2302/10/news065.html
Les micro-aimants de TDK : 100 μm d’épaisseur !
ーDéveloppement d’un moteur ultra-compact d’un diamètre de 1,5 mmー
TDK :
ー 「 nano technologie 2023 」 ー
Ils ont dévoilé un “micro-aimant” qui permet de développer des moteurs ultra-compacts d’un diamètre de 1,5 mm.
Processus de fabrication exclusif :
Il a été réalisé par “la technologie de dépôt d’un aimant samarium-cobalt d’une épaisseur de 100 μm”.
Application au procédé de fabrication de semi-conducteurs :
-Applicable aux procédés de fabrication de semi-conducteurs-
L’application aux MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) est également possible.
Amincissement au Néodyme :
Lorsque vous essayez de fabriquer des aimants frittés à l’aide de matériaux de terres rares tels que le diluant au néodyme,
Généralement, il est produit par découpage.
Limites d’usinage :
Cependant, la finesse qui permet de conserver ses propriétés magnétiques élevées est limitée à 500 μm.
D’autre part, il existe également un procédé de formation d’un film magnétique par pulvérisation.
Cependant, il est difficile de rendre le film plus épais que 10 µm.
Siège de la technologie et de la propriété intellectuelle de TDK :
Caractéristiques du micro-aimant :
-Aimant Sm-Co avec des propriétés magnétiques élevées juste derrière le néodyme-
Les micro-aimants peuvent atteindre une épaisseur d’environ 100 μm, ce qui était auparavant difficile à fabriquer.
Utilisation comme actionneur :
Avec cette épaisseur, il peut être utilisé comme actionneur tel qu’un moteur.
Application aux MEMS :
La surface du matériau de base qui touche le sel fondu dans lequel la poudre de Sm est dissoute devient magnétisée.
Il est possible de former un film magnétique uniforme sur la surface inégale.
Par conséquent, il est facile à appliquer aux MEMS.
Nécessite un traitement à haute température et un environnement à faible teneur en oxygène :
“Procédé de fabrication de semi-conducteurs utilisé dans les MEMS”
“Déjà utilisé dans le processus de traitement thermique”, il peut donc être incorporé.
Domaine d’utilisation :
-Exposition à nano tech 2023-
Nous aimerions recruter des partenaires intéressés par le développement de produits utilisant des micro-aimants.
Application:
micro-pompe,
moteur à rotor extérieur,
miroir à lévitation magnétique,
capteur de déplacement,
Il y a aussi un actionneur de bobine mobile.
– MONOiste
Mikromagnete von TDK: 100 μm dick!
ーEntwicklung eines ultrakompakten Motors mit einem Durchmesser von 1,5 mmー
TDK:
„Nanotech 2023“.
Sie stellten einen „Mikromagneten“ vor, der die Entwicklung ultrakompakter Motoren mit einem Durchmesser von 1,5 mm ermöglicht.
Proprietäres Herstellungsverfahren:
Es wurde durch “Technologie zum Abscheiden eines Samarium-Kobalt-Magneten mit einer Dicke von 100 μm” realisiert.
Anwendung auf den Halbleiterherstellungsprozess:
-Anwendbar auf Halbleiterfertigungsprozesse-
Eine Anwendung auf MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ist ebenfalls möglich.
Verdünnung mit Neodym:
Beim Versuch, gesinterte Magnete mit Seltenerdmaterialien wie Neodym-Verdünner herzustellen,
Im Allgemeinen wird es durch Schneiden hergestellt.
Bearbeitungsgrenzen:
Die Dünnheit, die seine hohen magnetischen Eigenschaften beibehalten kann, ist jedoch auf 500 μm begrenzt.
Andererseits gibt es auch ein Verfahren zum Bilden eines Magnetfilms durch Sputtern.
Es ist jedoch schwierig, den Film dicker als 10 µm zu machen.
TDK-Hauptsitz für Technologie und geistiges Eigentum:
Eigenschaften des Mikromagneten:
-Sm-Co-Magnet mit hohen magnetischen Eigenschaften, die nur von Neodym übertroffen werden-
Mikromagnete können eine Dicke von etwa 100 μm erreichen, was bisher schwierig herzustellen war.
Verwendung als Aktor:
Mit dieser Dicke kann es als Aktuator, beispielsweise als Motor, verwendet werden.
Anwendung auf MEMS:
Die Oberfläche des Grundmaterials, die die Salzschmelze berührt, in der das Sm-Pulver gelöst ist, wird magnetisiert.
Es ist möglich, einen gleichmäßigen Magnetfilm auf der unebenen Oberfläche zu bilden.
Daher ist es einfach, es auf MEMS anzuwenden.
Erfordert eine Hochtemperaturverarbeitung und eine sauerstoffarme Umgebung:
“Halbleiterherstellungsprozess in MEMS verwendet”
“Bereits im Wärmebehandlungsprozess verwendet”, kann also eingearbeitet werden.
Anwendungsgebiet:
-Ausstellung auf der nano tech 2023-
Wir möchten Partner rekrutieren, die an der Produktentwicklung mit Mikromagneten interessiert sind.
Anwendung:
Mikropumpe,
Außenläufermotor,
Magnetschwebespiegel,
Verschiebungssensor,
Es gibt auch einen Schwingspulenaktuator.
– MONOist