TDK 的微型磁鐵：100μm 厚！
ー開發出直徑1.5mm的超小型馬達ー
TDK：
ー「納米科技2023」ー
他們推出了一種“微型磁鐵”，可用於開發直徑為 1.5 毫米的超小型電機。
專有製造工藝：
它是通過“沉積厚度為100μm的釤鈷磁鐵的技術”實現的。
在半導體製造過程中的應用：
-適用於半導體製造工藝-
也可以應用於 MEMS（微機電系統）。
用釹減薄：
當嘗試使用稀土材料（如釹）來製造燒結磁鐵時，
通常，它是通過切割生產的。
加工極限：
然而，能保持其高磁性能的薄度限制在500μm。
另一方面，也有通過濺射形成磁鐵膜的方法。
然而，難以使膜厚於10μm。
TDK 技術和知識產權總部：
微型磁鐵特點：
-高磁性能僅次於釹的Sm-Co磁鐵-
微型磁體可以達到 100 μm 左右的厚度，這在以前很難製造。
用作執行器：
有了這個厚度，它就可以用作馬達等致動器。
MEMS應用：
與溶解有Sm粉末的熔融鹽接觸的基材表面被磁化。
可以在凹凸不平的表面形成均勻的磁體膜。
因此，很容易應用於MEMS。
需要高溫處理和低氧環境：
“MEMS中使用的半導體製造工藝”
“已用於熱處理工藝”，故可併入。
使用領域：
-納米技術展2023-
我們想招募對使用微型磁鐵進行產品開發感興趣的合作夥伴。
應用：
微型泵，
外轉子電機，
磁懸浮鏡，
位移傳感器，
還有一個音圈致動器。
– MONOist
https://monoist.itmedia.co.jp/mn/articles/2302/10/news065.html
Les micro-aimants de TDK : 100 μm d’épaisseur !
ーDéveloppement d’un moteur ultra-compact d’un diamètre de 1,5 mmー
TDK :
ー 「 nano technologie 2023 」 ー
Ils ont dévoilé un “micro-aimant” qui permet de développer des moteurs ultra-compacts d’un diamètre de 1,5 mm.
Processus de fabrication exclusif :
Il a été réalisé par “la technologie de dépôt d’un aimant samarium-cobalt d’une épaisseur de 100 μm”.
Application au procédé de fabrication de semi-conducteurs :
-Applicable aux procédés de fabrication de semi-conducteurs-
L’application aux MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) est également possible.
Amincissement au Néodyme :
Lorsque vous essayez de fabriquer des aimants frittés à l’aide de matériaux de terres rares tels que le diluant au néodyme,
Généralement, il est produit par découpage.
Limites d’usinage :
Cependant, la finesse qui permet de conserver ses propriétés magnétiques élevées est limitée à 500 μm.
D’autre part, il existe également un procédé de formation d’un film magnétique par pulvérisation.
Cependant, il est difficile de rendre le film plus épais que 10 µm.
Siège de la technologie et de la propriété intellectuelle de TDK :
Caractéristiques du micro-aimant :
-Aimant Sm-Co avec des propriétés magnétiques élevées juste derrière le néodyme-
Les micro-aimants peuvent atteindre une épaisseur d’environ 100 μm, ce qui était auparavant difficile à fabriquer.
Utilisation comme actionneur :
Avec cette épaisseur, il peut être utilisé comme actionneur tel qu’un moteur.
Application aux MEMS :
La surface du matériau de base qui touche le sel fondu dans lequel la poudre de Sm est dissoute devient magnétisée.
Il est possible de former un film magnétique uniforme sur la surface inégale.
Par conséquent, il est facile à appliquer aux MEMS.
Nécessite un traitement à haute température et un environnement à faible teneur en oxygène :
“Procédé de fabrication de semi-conducteurs utilisé dans les MEMS”
“Déjà utilisé dans le processus de traitement thermique”, il peut donc être incorporé.
Domaine d’utilisation :
-Exposition à nano tech 2023-
Nous aimerions recruter des partenaires intéressés par le développement de produits utilisant des micro-aimants.
Application:
micro-pompe,
moteur à rotor extérieur,
miroir à lévitation magnétique,
capteur de déplacement,
Il y a aussi un actionneur de bobine mobile.
– MONOiste
Mikromagnete von TDK: 100 μm dick!
ーEntwicklung eines ultrakompakten Motors mit einem Durchmesser von 1,5 mmー
TDK:
„Nanotech 2023“.
Sie stellten einen „Mikromagneten“ vor, der die Entwicklung ultrakompakter Motoren mit einem Durchmesser von 1,5 mm ermöglicht.
Proprietäres Herstellungsverfahren:
Es wurde durch “Technologie zum Abscheiden eines Samarium-Kobalt-Magneten mit einer Dicke von 100 μm” realisiert.
Anwendung auf den Halbleiterherstellungsprozess:
-Anwendbar auf Halbleiterfertigungsprozesse-
Eine Anwendung auf MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) ist ebenfalls möglich.
Verdünnung mit Neodym:
Beim Versuch, gesinterte Magnete mit Seltenerdmaterialien wie Neodym-Verdünner herzustellen,
Im Allgemeinen wird es durch Schneiden hergestellt.
Bearbeitungsgrenzen:
Die Dünnheit, die seine hohen magnetischen Eigenschaften beibehalten kann, ist jedoch auf 500 μm begrenzt.
Andererseits gibt es auch ein Verfahren zum Bilden eines Magnetfilms durch Sputtern.
Es ist jedoch schwierig, den Film dicker als 10 µm zu machen.
TDK-Hauptsitz für Technologie und geistiges Eigentum:
Eigenschaften des Mikromagneten:
-Sm-Co-Magnet mit hohen magnetischen Eigenschaften, die nur von Neodym übertroffen werden-
Mikromagnete können eine Dicke von etwa 100 μm erreichen, was bisher schwierig herzustellen war.
Verwendung als Aktor:
Mit dieser Dicke kann es als Aktuator, beispielsweise als Motor, verwendet werden.
Anwendung auf MEMS:
Die Oberfläche des Grundmaterials, die die Salzschmelze berührt, in der das Sm-Pulver gelöst ist, wird magnetisiert.
Es ist möglich, einen gleichmäßigen Magnetfilm auf der unebenen Oberfläche zu bilden.
Daher ist es einfach, es auf MEMS anzuwenden.
Erfordert eine Hochtemperaturverarbeitung und eine sauerstoffarme Umgebung:
“Halbleiterherstellungsprozess in MEMS verwendet”
“Bereits im Wärmebehandlungsprozess verwendet”, kann also eingearbeitet werden.
Anwendungsgebiet:
-Ausstellung auf der nano tech 2023-
Wir möchten Partner rekrutieren, die an der Produktentwicklung mit Mikromagneten interessiert sind.
Anwendung:
Mikropumpe,
Außenläufermotor,
Magnetschwebespiegel,
Verschiebungssensor,
Es gibt auch einen Schwingspulenaktuator.
– MONOist