💡産総研:薄膜トランジスタアレイ・検査技術を大幅に高速・大面積化

💡産総研:薄膜トランジスタアレイ・検査技術を大幅に高速・大面積化

-印刷法で製造したディスプレーなどの駆動回路の非破壊インライン検査が可能に-

ポイント

薄膜トランジスタ(TFT)アレイの駆動状態を光学イメージ化して非破壊で一括検査する技術を大幅に改良

ディスプレーなど情報出力機器のTFTとストレージキャパシター 30,000素子を3分以内に一括検査

印刷法で製造した大面積デバイスのインライン検査を可能にし、高品質化に貢献

なお、この技術の詳細は、2018年1月15日(現地時間)に欧州科学誌Organic Electronicsに掲載される。

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2018/pr20180115/pr20180115.html