東京工業大学：新型MEMSセンサー開発：加速度1μG検出可能（動画）：
TIT:Development of a new MEMS sensor: Detects acceleration 1μG：
东京工业大学：开发新型MEMS传感器：检测加速度1μG
2019年8月14日
NTTアドバンステクノロジ/東京工業大学
加速度1μGの検出を可能にするMEMSセンサーを開発しました。
低ノイズ・高感度の新型MEMS加速度センサーです。
特長：性能
複数の金属層から形成される積層メタル構造を採用。
同サイズのセンサーと比べて、ノイズ10分の1以下、感度100倍以上を達成。
利用分野：
- 医療
- インフラ診断、
- 移動体制御、
- ロボットなどでの利用を見込む。
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