东京工业大学：开发新型MEMS传感器：检测加速度1μG
2019年8月14日
NTT先进技术/东京工业大学
我们开发了一种可以检测1μG加速度的MEMS传感器。
一种新型MEMS加速度传感器，具有低噪声和高灵敏度。
特点：性能
使用由多个金属层形成的层压金属结构。
与相同尺寸的传感器相比，噪声小于1/10，灵敏度大于100倍。
应用领域：
医疗保健
基础设施诊断
移动控制，
预计将与机器人一起使用。
MONOist
东京工业大学：开发新型MEMS传感器：检测加速度1μG
2019年8月14日
NTT先进技术/东京工业大学
我们开发了一种可以检测1μG加速度的MEMS传感器。
一种新型MEMS加速度传感器，具有低噪声和高灵敏度。
特点：性能
使用由多个金属层形成的层压金属结构。
与相同尺寸的传感器相比，噪声小于1/10，灵敏度大于100倍。
应用领域：
医疗保健
基础设施诊断
移动控制，
预计将与机器人一起使用。
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