パナソニック:日本IBM、半導体製造自動化で協業:レシピ自動生成システム:  Panasonic:IBM Japan,Semiconductor manufacturing automation:recipe generation system:  松下:IBM日本,在半导体制造自动化方面进行合作:自动配方生成系统

パナソニック:日本IBM、半導体製造自動化で協業:レシピ自動生成システム: 
Panasonic:IBM Japan,Semiconductor manufacturing automation:recipe generation system: 
松下:IBM日本,在半导体制造自动化方面进行合作:自动配方生成系统

日本アイ・ビー・エム/パナソニック スマートファクトリーソリューション

「半導体製造工程のOEE(Overall Equipment Effectiveness)と高品質なモノづくり」を目指します。

半導体製造の自動化を実現するための新規商品開発での協業に合意しました。

日本IBM:

半導体製造工程向けの知見を活かします。

  1. APC(高度プロセス制御 Advanced Process Control )、
  2. FDC(故障・予兆管理 Fault Detection and Classification)などのデータ解析システム、
  3. 上位レイヤーのMES(製造実行システム Manufacturing Execution System)

開発販売し、品質向上や生産管理の自動化を実現します。

新開発システム:

  1. プラズマダイサーのレシピ自動生成システム
  2. プラズマクリーナーにFDCシステムを組み込んだ、プロセスコントロールシステム

具体的には、半導体製造工程の先端パッケージング新工法:プラズマダイサーのレシピ自動生成システム、

後工程で実績のあるプラズマクリーナーにFDCシステムを組み込んだ:プロセスコントロールシステムを開発。

プレスリリース | Panasonic Newsroom Japan

https://news.panasonic.com/jp/press/data/2019/10/jn191015-1/jn191015-1.html