松下:IBM日本,在半导体制造自动化方面进行合作:自动配方生成系统

松下:IBM日本,在半导体制造自动化方面进行合作:自动配方生成系统

IBM日本/松下智能工厂解决方案

旨在“ OEE(总体设备效率)和半导体制造过程中的高质量制造”。

同意合作开发新产品,以实现半导体制造的自动化。

IBM日本:

利用半导体制造过程的知识。

APC(高级过程控制),
数据分析系统,例如FDC(故障检测和分类)
上层MES(制造执行系统)
开发和销售,质量改进和生产管理自动化。

新开发的系统:

等离子切块机配方自动生成系统
在等离子清洁器中集成了FDC系统的过程控制系统
具体来说,一种用于半导体制造工艺的新型先进封装方法:等离子切块机配方自动生成系统,

开发了将FDC系统整合到等离子清洁器中的过程控制系统,该等离子清洁器在后续过程中具有良好的记录。

Panasonic Newsroom Japan

https://news.panasonic.com/jp/press/data/2019/10/jn191015-1/jn191015-1.html