💻AIST、不揮発性磁気メモリーMRAMの3次元積層プロセスを開発

By 3DCG, CMOS

💻AIST、不揮発性磁気メモリーMRAMの3次元積層プロセスを開発

－新世代単結晶MRAM製造の可能性を拓く－

ポイント

MRAMの3次元積層プロセス技術を初めて実現
3次元積層プロセスによるMRAM動作特性の劣化が無いことを実証
単結晶薄膜の使用によるMRAMの超高性能化の可能性を拓く

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2017/pr20170516/pr20170516.html

Development of a 3D Stacking Process for Non-Volatile MRAM

http://www.aist.go.jp/aist_e/list/latest_research/2018/20180514/en20180514.html

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