ダイヘン：半導体ウエハー搬送ロボットがスゴイ（動画）：
DAIHEN: Semiconductor wafer transfer robot is amazing：
DAIHEN：半导体晶圆传送机器人了不起
ー世界最速ロボットを開発ー
ダイヘン：
真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した。
半導体ウエハー搬送ロボット「ＵＴ―ＶＤＷ３０００」を開発。
半導体ウエハー搬送ロボット
ＵＴ―ＶＤＷ３０００早速、受注を開始した。
- 前工程の半導体製造装置に搭載し、
- 装置内搬送で、１時間のウエハー処理枚数を、
- 従来品比で３０％向上、６５０枚を実現。
半導体の生産能力向上：
供給不足にある半導体の生産能力を、「装置を増やさず、拡大する」のに貢献する。
年間販売で３００台を目指す。
開発ロボットの特徴：
デュアルアーム構造で、３００ミリメートルウエハーに対応する。
- アーム動作ストロークは、６２０ミリメートル。
- ロボットの最小旋回径は、７３０ミリメートル。
「真空下で、高速プロセスが求められるイオン注入装置」を主なターゲットにする。
消費税抜きの価格は７８０万円。
真空下での搬送：
吸引式ロボは、真空下でウエハーを把持できない。
新開発ロボは、ハンド部に載せて高速搬送する。
高速搬送を実現：
高速搬送になれば、ウエハーは振動で位置ずれの可能性が高まる。
振動の発生要因を徹底して見直した。
半導体用クリーン搬送ロボット：
ダイヘンは、真空用ロボを中核に据える。
半導体用クリーン搬送ロボットの品ぞろえを拡充する。
生産をダイヘンテック（大分県杵築市）で行う。
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