経産省：先端半導体３社を選定：東京エレクトロン､キヤノン､ＳＣＲＥＥＮ（動画）：
METI: 3 advanced semiconductor companies:Tokyo Electron,Canon,SCREEN:
经济产业省：选定了三家先进的半导体公司：东京电子，佳能，SCREEN
［東京 3月２４日 ロイター］
経済産業省：
先端半導体製造技術の開発企業を選定した。
- 東京エレクトロン、
- キヤノン、
- ＳＣＲＥＥＮセミコンダクター（京都市）、
- 産業技術総合研究所、
上記4社を選んだと3月２３日に発表した。
海外のファウンドリ：
台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）など、海外のファウンドリ（半導体受託製造）も含めて協力していく。
- 次世代半導体及び
- 最先端ロジック半導体の開発・製造技術
２ｎｍの次世代半導体：
具体的には、
- ２ｎｍ（ナノメートル）以降の、次世代半導体・製造技術を開発。
- また、日本国内にない先端性を持つロジック半導体の製造技術を確立。
研究開発期間は５年。
台湾ＴＳＭＣが参加：
半導体チップを生産する海外ファウンドリを含めて「先端半導体製造技術コンソーシアム」を構築する。
半導体受託生産大手の台湾ＴＳＭＣは、つくば市に研究開発を目的とした子会社の設立を決めている。
ロイター
https://jp.reuters.com/article/meti-semiconductor-idJPKBN2BG0CN
「NEDO」：ポスト5G情報通信システム開発／先端半導体製造技術の開発
ー実施体制の決定についてー
2021年3月23日
「NEDO」：
「ポスト5G情報通信システム開発事業／先端半導体製造技術の開発」に係る
- 上記の公募を実施、
- 提案について審査を行い、
- 資料1のとおり実施予定先を決定。
実施予定先一覧：資料1
- 東京エレクトロン株式会社
- SCREENセミコンダクターソリューションズ
- キヤノン株式会社
先端半導体製造技術の開発：
パイロットライン構築等を通じて、
先端半導体製造プロセスのうち、前工程の微細化（More Moore）技術開発を実施する。
具体的には、
2nm以降のプロセスノード・先端半導体において求められる技術の開発。
- 高性能な露光・微細加工技術、
- 成膜技術、
- アニール技術、
- エッチング技術、
- 洗浄技術等のうち、
特に新規開発や大幅な性能向上が必要な、製造・プロセス技術等を開発する。
パイロットラインの構築：
パイロットライン構築を通じて、微細加工を施した実ウェハーによる製造装置の評価・検証を実施する。
国内に無い先端性を持つロジック半導体の製造技術を確立する。
事業期間
原則、研究開発開始から5年（60カ月）以内
NEDO