ウシオ電機：ＥＵＶ使った半導体量産化：極端紫外線リソグラフィ光源技術（動画）：
USHIO:semiconductors using EUV: “Extreme ultraviolet litho” light source tech：
USHIO：使用EUV大规模生产半导体：“极紫外光刻”光源技术
ウシオ電機：
- ＥＵＶ使った半導体の量産化へ供給網整いつつある
- マスク検査装置向け光源、2019年度は30億円の販売見込む
次世代半導体製造に不可欠な検査装置の光源事業で、2020年度黒字化を目指します。
マスク検査装置向けに、光源の量産化を図ります。
当社の光源：小型で高輝度
当社の光源は、小型で高輝度である点が優れています。
今年７月、量産向けに、初めて光源を検査装置メーカーに納入。
回路線幅の微細化が、半導体の性能向上のカギを握っています。
販売見込み：マスク検査装置向け光源
マスク検査装置向けの光源は、ウシオ電機の売上高の２割を占めています。
光学装置事業に位置付けられ、2019年度は30億円の販売を見込む。
ＥＵＶ技術を使った次世代半導体：
次の各社が、ＥＵＶ技術を使った次世代半導体の量産に取り組んでいます。
日本のメーカー：
日本のメーカーは、半導体生産でシェアを落としました。
しかし、半導体製造に不可欠な｢重要素材や関連装置開発｣では高い世界シェアを維持しています。
Bloomberg
https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2019-09-02/PWITE3T0AFB701?srnd=cojp-v2