韓国・東進セミケム:EUV用フォトレジストを国産化出来ず(動画):
Korea Toshin Semichem:Unable to domestically produce photoresist for EUV:
韩国东信半导体:国内无法生产 EUV 光刻胶:
ー日本の対韓国輸出規制が二年越しへー
EUV用フォトレジスト:
フォトレジスト(感光液)の中で、最高級段階の「EUV用フォトレジスト」
韓国で国産化出来ず:
- 日本の輸出規制の主要3大品目中、
- EUV用フォトレジストについて、
- 未だ、韓国で国産化出来ていない。
「現在も、その状況は変わっていない」のだ。
「それだけ、高難度の課題」である。
「日本の輸出規制による強固な壁の象徴」として、現存している。
残り2品目の輸出規制:
高純度フッ化水素:
半導体とディスプレーに欠かせないエッチングガス及び
フッ化ポリイミド:
折り畳みスマホのモニターフィルム素材輸出規制から2年に至る前から、国産化段階に入った。
しかし、「半導体の超重要材料・EUV用フォトレジスト」を未だ開発出来ていない。
東進セミケム
キム・ジェヒョン副社長「東進セミケムは、フォトレジストメーカーとして韓国の代表格」だ。
- EUV用フォトレジストの分野では、
- 材料性能向上でかなりの進展した、
- 安定品質確保のための準備を進めている。
しかし、「依然、慎重な姿勢」を見せた。
「国産化と考えられる’製品化・商業化の段階に至る時期’は未定」とのこと。
その後6カ月で、どれくらい進展しているのだろうか?
キム副社長に電話取材:
キム副社長は、
「まだ、品質認証を受ける段階に至っていない、評価中だ」と答えた。
「サムスン電子だけでなく、SKハイニックスにも見本を送り、品質監査を受けている」
「最終的な製品化・商業化の時期については、依然として断言できない」段階だと語った。
東進セミケムの開発状況:
東進セミケムは、日本の輸出規制後、政府予算支援を受けた。
フッ化アルゴン用フォトレジストの開発
「従来の材料より性能を大幅に高めたフッ化アルゴン用フォトレジストの開発」について、成功した。
しかし、「EUV用フォトレジストの開発には至っておらず、まだ進行形」だ。
東進セミケムの市場シェア:
韓国国内のフォトレジスト市場は1兆4千億~1兆5千億ウォン規模。
品目ごとのシェア:
フッ化クリプトン用フォトレジスト:
フッ化クリプトン用フォトレジスト開発は、比較的容易だ。
韓国の国産化率は、30~40%に達する。
ほとんどを東進セミケムが占めている。
フッ化アルゴン用フォトレジスト:
一方、フッ化アルゴン用以上の高いレベルのフォトレジスト市場では、
- 日本のメーカーが80%を占有、
- 東進セミケムのシェアが10%前後、
- 米国デュポンが10% と把握されている。
サムスンとSKハイニックスの生命線:
高レベル・フォトレジストは「半導体で不可欠の材料といわれている領域」だ。
高レベル・フォトレジストは「今後更に世界市場が拡大が続くこと」も重要だ。
「サムスン電子とSKハイニックスが進めている半導体設備の増設」は、
すなわち「フォトレジスト市場の拡大」を意味する。
hankyoreh japan