💻AIST、不揮発性磁気メモリーMRAMの3次元積層プロセスを開発
－新世代単結晶MRAM製造の可能性を拓く－
ポイント
MRAMの3次元積層プロセス技術を初めて実現
3次元積層プロセスによるMRAM動作特性の劣化が無いことを実証
単結晶薄膜の使用によるMRAMの超高性能化の可能性を拓く
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2017/pr20170516/pr20170516.html
Development of a 3D Stacking Process for Non-Volatile MRAM
http://www.aist.go.jp/aist_e/list/latest_research/2018/20180514/en20180514.html