🍀パナソニックと東京精密で共同開発プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置の受注を開始

🍀パナソニックと東京精密で共同開発プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置の受注を開始

パナソニック スマートファクトリーソリューションズ株式会社（以下、PSFS）と株式会社 東京精密（以下、東京精密）は、共同開発した「プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置」（AL300P）の受注を、このほど開始いたしました。

AL300Pは、シリコンウエハーからダメージレスでチップを切り出すことが可能な「プラズマダイシング工法」向けに開発された新商品です。

プレスリリース | Panasonic Newsroom Japan

http://news.panasonic.com/jp/press/data/2018/03/jn180312-1/jn180312-1.html