東京エレクトロン(TEL)、めっき装置「Stratus™ P500」を製品化、パネル基板にウェーハレベルでの高精度めっき処理が可能に  2017年07月06日 ( Tokyo Electron Announces the Launch of the Stratus™ P500, a system capable of ECD on panel substrates with wafer level precision |  July 6, 2017 ) 

めっき装置「Stratus™ P500」を製品化、パネル基板

めっき装置「Stratus™ P500」を製品化、パネル基板