芝浦工大:フッ素樹脂に微細な銅配線:エキシマ光照射/線幅100μm形成: Fine copper wiring on fluororesin: Excimer light/line width 100 μm formation: 芝浦工业大学:氟树脂上的细铜布线:准分子光照射/线宽100μm形成
住友化学:フォトレジストの生産拡大:大阪工場を建設、評価設備を新設(動画): Sumitomo Chemical to Expand Photoresists: 住友化学扩大光致抗蚀剂