NCT：酸化ガリウム製パワー半導体の6インチの成膜（動画）：
NCT: 6-inch film formation of gallium oxide power semiconductor:
NCT：6英寸氧化镓功率半导体成膜：
ノベルクリスタルテクノロジー（NCT）
太陽日酸
東京農工大学酸化ガリウム製のパワー半導体で、6インチの成膜に成功したと発表した。
酸化ガリウム
パワー半導体今回、大型のウエハーでの成膜が可能になった。
今後、ウエハー製造コストを大きく削減できる。
酸化ガリウム製のパワー半導体は、EVの消費電力削減効果が極めて高い。
日本経済新聞
https://www.nikkei.com/article/DGXZQOUC019BJ0R00C22A3000000/
世界初、HVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功
NEDO：「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」
ノベルクリスタルテクノロジー
大陽日酸
東京農工大学次世代半導体材料として注目される酸化ガリウム（β-Ga2O3）。
ハライド気相成長（HVPE）法によって6インチウエハ上に成膜することに世界で初めて成功しました。
6インチウエハに成膜：
この成果は、
大口径のエピウエハを製造可能な、β-Ga2O3量産成膜装置の開発を大きく進展させます。
大口径・低コスト化：
成膜コストが課題となっていたβ-Ga2O3エピウエハの大口径・低コスト化の実現に繋がります。
β-Ga2O3パワーデバイス：
β-Ga2O3パワーデバイスが普及すれば、
産機用モータ制御のインバーターや、住宅用太陽光発電システムのインバーター、次世代EVなど省エネルギー化が見込めます。
株式会社ノベルクリスタルテクノロジー
https://www.novelcrystal.co.jp/2022/3236/