Silicon oxide film: Elucidation of interface defects at SPring-8!
– Tracking the Growth Process of Silicon Oxide Films –
Japan Atomic Energy Agency:
He clarified the “mechanism of silicon oxide film growth” that supports the semiconductor industry.
SPring-8:
Reactions were tracked in real time using high-intensity synchrotron radiation at SPring-8.
Clarifying the cause of interface defects:
– Real-time analysis of interface defects between oxide film and silicon substrate –
When oxygen molecules react,
It was found that “electrons, holes, etc. that contribute to the conduction of electricity” are involved.
It leads to “power saving, miniaturization and reliability improvement of semiconductor devices”.
Clarifying the Oxygen Molecular Reactions:
“Deficient oxide film and silicon substrate at the interface between oxide film and silicon substrate: Elucidation of interface defects at SPring-8!
– Tracking the Growth Process of Silicon Oxide Films –
Japan Atomic Energy Agency:
He clarified the “mechanism of silicon oxide film growth” that supports the semiconductor industry.
SPring-8:
Reactions were tracked in real time using high-intensity synchrotron radiation at SPring-8.
Clarifying the cause of interface defects:
– Real-time analysis of interface defects between oxide film and silicon substrate –
When oxygen molecules react,
It was found that “electrons, holes, etc. that contribute to the conduction of electricity” are involved.
It leads to “power saving, miniaturization and reliability improvement of semiconductor devices”.
Clarifying the Oxygen Molecular Reactions:
We clarified that oxygen molecules react with defects at the interface between the oxide film and the silicon substrate.
Detailed investigation of the reaction mechanism:
– Real-time measurement using synchrotron radiation –
It was found that “electrons, holes, etc., are bound to interface defects, creating a state that facilitates chemical reactions.”
“Oxygen is adsorbed in the form of molecules due to the formation of easily reactive defects.”
dissociate into oxygen atoms,
They discovered “forming a silicon-oxygen-silicon bond”.
(New Switch)-Yahoo! News
https://news.yahoo.co.jp/articles/2d83ab304b8d87ff964562c02b548c12167e21c4
Elucidation by high-brightness synchrotron radiation: Growth process of silicon oxide film
-Interfacial defects and carrier trapping that dominate the world of nanodevices-
[Summary of presentation]
Fabrication of semiconductor devices
In the fabrication of semiconductor devices,
Oxidation reaction is controlled and defects are few,
It is essential to produce a good quality silicon oxide film.
However, the understanding of the silicon oxidation reaction mechanism in the nano-level thin film region is insufficient.
Observed at SPring-8:
Real-time observation of the growth process of an ultra-thin oxide film on a silicon surface using SPring-8 synchrotron radiation.
Oxide film and silicon substrate
Relationship with interface defects
As a result, they discovered that carriers in the silicon substrate are involved when oxygen molecules react with defects at the interface between the oxide film and the silicon substrate.
This achievement contributes to power saving, miniaturization, and improved reliability of semiconductor devices using silicon.
Japan Atomic Energy Agency: Oxygen molecules react in a press release.
Detailed investigation of the reaction mechanism:
– Real-time measurement using synchrotron radiation –
It was found that “electrons, holes, etc., are bound to interface defects, creating a state that facilitates chemical reactions.”
“Oxygen is adsorbed in the form of molecules due to the formation of easily reactive defects.”
dissociate into oxygen atoms,
They discovered “forming a silicon-oxygen-silicon bond”.
(New Switch)-Yahoo! News
https://www.jaea.go.jp/02/press2022/p22121901/
Film d’oxyde de silicium : élucidation des défauts d’interface au SPring-8 !
– Suivi du processus de croissance des films d’oxyde de silicium –
Agence japonaise de l’énergie atomique :
Il a clarifié le “mécanisme de croissance du film d’oxyde de silicium” qui soutient l’industrie des semi-conducteurs.
Printemps-8 :
Les réactions ont été suivies en temps réel à l’aide d’un rayonnement synchrotron de haute intensité à SPring-8.
Clarification de la cause des défauts d’interface :
– Analyse en temps réel des défauts d’interface entre le film d’oxyde et le substrat de silicium –
Lorsque les molécules d’oxygène réagissent,
Il a été constaté que “des électrons, des trous, etc. qui contribuent à la conduction de l’électricité” sont impliqués.
Cela conduit à “l’économie d’énergie, la miniaturisation et l’amélioration de la fiabilité des dispositifs à semi-conducteurs”.
Clarifier les réactions moléculaires de l’oxygène :
“Film d’oxyde et substrat de silicium déficients à l’interface entre le film d’oxyde et le substrat de silicium : élucidation des défauts d’interface à SPring-8 !
– Suivi du processus de croissance des films d’oxyde de silicium –
Agence japonaise de l’énergie atomique :
Il a clarifié le “mécanisme de croissance du film d’oxyde de silicium” qui soutient l’industrie des semi-conducteurs.
Printemps-8 :
Les réactions ont été suivies en temps réel à l’aide d’un rayonnement synchrotron de haute intensité à SPring-8.
Clarification de la cause des défauts d’interface :
– Analyse en temps réel des défauts d’interface entre le film d’oxyde et le substrat de silicium –
Lorsque les molécules d’oxygène réagissent,
Il a été constaté que “des électrons, des trous, etc. qui contribuent à la conduction de l’électricité” sont impliqués.
Cela conduit à “l’économie d’énergie, la miniaturisation et l’amélioration de la fiabilité des dispositifs à semi-conducteurs”.
Clarifier les réactions moléculaires de l’oxygène :
Nous avons précisé que les molécules d’oxygène réagissent avec les défauts à l’interface entre le film d’oxyde et le substrat de silicium.
Étude détaillée du mécanisme de réaction :
– Mesure en temps réel par rayonnement synchrotron –
Il a été constaté que “les électrons, les trous, etc. sont liés aux défauts d’interface, créant un état qui facilite les réactions chimiques”.
“L’oxygène est adsorbé sous forme de molécules en raison de la formation de défauts facilement réactifs.”
se dissocier en atomes d’oxygène,
Ils ont découvert “la formation d’une liaison silicium-oxygène-silicium”.
(Nouveau commutateur) – Yahoo Actualités
Élucidation par rayonnement synchrotron à haute luminosité : processus de croissance d’un film d’oxyde de silicium
-Défauts interfaciaux et piégeage de porteurs qui dominent le monde des nanodispositifs-
[Résumé de la présentation]
Fabrication de dispositifs semi-conducteurs
Dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs,
La réaction d’oxydation est maîtrisée et les défauts sont peu nombreux,
Il est essentiel de produire un film d’oxyde de silicium de bonne qualité.
Cependant, la compréhension du mécanisme de réaction d’oxydation du silicium dans la région des couches minces au niveau nano est insuffisante.
Observé à SPring-8 :
Observation en temps réel du processus de croissance d’un film d’oxyde ultra-mince sur une surface de silicium en utilisant le rayonnement synchrotron SPring-8.
Film d’oxyde et substrat de silicium
Relation avec les défauts d’interface
En conséquence, ils ont découvert que les porteurs dans le substrat de silicium sont impliqués lorsque les molécules d’oxygène réagissent avec des défauts à l’interface entre le film d’oxyde et le substrat de silicium.
Cette réalisation contribue à l’économie d’énergie, à la miniaturisation et à l’amélioration de la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs utilisant du silicium.
Agence japonaise de l’énergie atomique : Les molécules d’oxygène réagissent dans un communiqué de presse.
Étude détaillée du mécanisme de réaction :
– Mesure en temps réel par rayonnement synchrotron –
Il a été constaté que “les électrons, les trous, etc. sont liés aux défauts d’interface, créant un état qui facilite les réactions chimiques”.
“L’oxygène est adsorbé sous forme de molécules en raison de la formation de défauts facilement réactifs.”
se dissocier en atomes d’oxygène,
Ils ont découvert “la formation d’une liaison silicium-oxygène-silicium”.
(Nouveau commutateur) – Yahoo Actualités
Siliziumoxidfilm: Aufklärung von Grenzflächendefekten bei SPring-8!
– Verfolgung des Wachstumsprozesses von Siliziumoxidfilmen –
Japanische Atomenergiebehörde:
Er verdeutlichte den “Mechanismus des Siliziumoxidfilmwachstums”, der die Halbleiterindustrie unterstützt.
SPring-8:
Die Reaktionen wurden in Echtzeit mit hochintensiver Synchrotronstrahlung bei SPring-8 verfolgt.
Klärung der Ursache von Schnittstellendefekten:
– Echtzeitanalyse von Grenzflächendefekten zwischen Oxidschicht und Siliziumsubstrat –
Wenn Sauerstoffmoleküle reagieren,
Es wurde festgestellt, dass “Elektronen, Löcher usw., die zur Stromleitung beitragen”, beteiligt sind.
Es führt zu “Energieeinsparung, Miniaturisierung und Verbesserung der Zuverlässigkeit von Halbleitervorrichtungen”.
Aufklärung der sauerstoffmolekularen Reaktionen:
„Mangelhafte Oxidschicht und Siliziumsubstrat an der Grenzfläche zwischen Oxidschicht und Siliziumsubstrat: Aufklärung von Grenzflächendefekten bei SPring-8!
– Verfolgung des Wachstumsprozesses von Siliziumoxidfilmen –
Japanische Atomenergiebehörde:
Er verdeutlichte den “Mechanismus des Siliziumoxidfilmwachstums”, der die Halbleiterindustrie unterstützt.
SPring-8:
Die Reaktionen wurden in Echtzeit mit hochintensiver Synchrotronstrahlung bei SPring-8 verfolgt.
Klärung der Ursache von Schnittstellendefekten:
– Echtzeitanalyse von Grenzflächendefekten zwischen Oxidschicht und Siliziumsubstrat –
Wenn Sauerstoffmoleküle reagieren,
Es wurde festgestellt, dass “Elektronen, Löcher usw., die zur Stromleitung beitragen”, beteiligt sind.
Es führt zu “Energieeinsparung, Miniaturisierung und Verbesserung der Zuverlässigkeit von Halbleitervorrichtungen”.
Aufklärung der sauerstoffmolekularen Reaktionen:
Wir haben klargestellt, dass Sauerstoffmoleküle mit Defekten an der Grenzfläche zwischen dem Oxidfilm und dem Siliziumsubstrat reagieren.
Detaillierte Untersuchung des Reaktionsmechanismus:
– Echtzeitmessung mit Synchrotronstrahlung –
Es wurde festgestellt, dass “Elektronen, Löcher usw. an Grenzflächendefekte gebunden sind und einen Zustand schaffen, der chemische Reaktionen erleichtert”.
„Sauerstoff wird durch die Bildung leicht reaktiver Defekte in Form von Molekülen adsorbiert.“
dissoziieren in Sauerstoffatome,
Sie entdeckten “das Bilden einer Silizium-Sauerstoff-Silizium-Bindung”.
(Neuer Switch)-Yahoo!-Nachrichten
Aufklärung durch hochhelle Synchrotronstrahlung: Wachstumsprozess des Siliziumoxidfilms
-Grenzflächendefekte und Ladungsträgereinfang, die die Welt der Nanogeräte dominieren-
[Zusammenfassung der Präsentation]
Herstellung von Halbleiterbauelementen
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen,
Die Oxidationsreaktion wird kontrolliert und es gibt nur wenige Defekte.
Es ist wesentlich, einen Siliziumoxidfilm guter Qualität herzustellen.
Jedoch ist das Verständnis des Reaktionsmechanismus der Siliziumoxidation in der Dünnschichtregion auf Nanoebene unzureichend.
Beobachtet bei SPring-8:
Echtzeitbeobachtung des Wachstumsprozesses eines ultradünnen Oxidfilms auf einer Siliziumoberfläche mit SPring-8-Synchrotronstrahlung.
Oxidfilm und Siliziumsubstrat
Zusammenhang mit Schnittstellendefekten
Als Ergebnis entdeckten sie, dass Ladungsträger im Siliziumsubstrat beteiligt sind, wenn Sauerstoffmoleküle mit Defekten an der Grenzfläche zwischen dem Oxidfilm und dem Siliziumsubstrat reagieren.
Diese Errungenschaft trägt zur Energieeinsparung, Miniaturisierung und verbesserten Zuverlässigkeit von Halbleitervorrichtungen unter Verwendung von Silizium bei.
Japan Atomic Energy Agency: Sauerstoffmoleküle reagieren in einer Pressemitteilung.
Detaillierte Untersuchung des Reaktionsmechanismus:
– Echtzeitmessung mit Synchrotronstrahlung –
Es wurde festgestellt, dass “Elektronen, Löcher usw. an Grenzflächendefekte gebunden sind und einen Zustand schaffen, der chemische Reaktionen erleichtert”.
„Sauerstoff wird durch die Bildung leicht reaktiver Defekte in Form von Molekülen adsorbiert.“
dissoziieren in Sauerstoffatome,
Sie entdeckten „das Bilden einer Silizium-Sauerstoff-Silizium-Bindung“.
(Neuer Switch)-Yahoo!-Nachrichten
Roles of excess minority carrier recombination and chemisorbed O2 species at SiO2/Si interfaces in Si dry oxidation:
Comparison between p-Si(001) and n-Si(001) surfaces:
The Journal of Chemical Physics: Vol 157, No 23
ABSTRACT
This study provides experimental evidence for the following:
(1) Excess minority carrier recombination at SiO2/Si interfaces is associated with O2 dissociative adsorption;
(2) the x-ray induced enhancement of SiO2 growth is not caused by the band flattening resulting from the surface photovoltaic effect
but by the electron–hole pair creation resulting from core level photoexcitation for the spillover of bulk Si electronic states toward the SiO2 layer;
and (3) a metastable chemisorbed O2 species plays a decisive role in combining two types of the single- and double-step oxidation reaction loops.
Based on experimental results,
the unified Si oxidation reaction model mediated by point defect generation
[S. Ogawa et al., Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 59, SM0801 (2020)]
is extended from the viewpoints of
(a) the excess minority carrier recombination at the oxidation-induced vacancy site
(b) the trapping-mediated adsorption through the chemisorbed O2 species at the SiO2/Si interface.