東レ：ウエーハ円形塗布技術を開発：Slit coater for LCD color filter（動画）：
Toray:Developed wafer circular coating tech: Slit coater for LCD color filters：
东丽：已开发的晶圆圆形涂层技术：用于LCD彩色滤光片的狭缝涂层机
2019年11月5日
東レエンジニアリング：
「Slit coaterで、ウエーハの円形塗布する」基本技術を開発しました。
今後、お客様のご要望に応じた塗布テスト用の設備（最大12インチウエーハ：サンプル試作可能）をご提供します。
Slit coater：ウエーハへの塗布技術
- 液晶カラーフィルター用Slit coaterは、当社の主力商品です。
- G2から世界最大のG10.5サイズを販売している唯一の会社
- 累計700台を超えるSlit coaterを国内外のお客様に納入
- 業界トップクラスの実績を誇っています。
当社は、このスリットコータを今後拡大が見込まれる半導体分野に展開します。
このたび「新たなSlit coaterおよび塗布技術」を開発しました。
主な特徴：
本スリットコーターの主な特徴は、以下の通りです。
① 円形を含む様々な形状、凹凸部を有する基板に塗布できます。
② 塗布する液が基板からはみ出ることがなく、エッジリンス、バックリンスが基本的に不要です。
③ 幅広い粘度範囲(1～10,000mPa･s)に対応可能です。
④ 幅広い膜厚（Wet1～数十μm）の塗布が可能です。
⑤ 既存のスピンコータと比較し、液の使用効率が圧倒的に高い（＊別表ご参照）。
今後について：
従来のスピンコータ、スプレーコータ、ロールコータなどからのプロセス変更ニーズを掘り起こします。
また、新たな生産プロセスを､お客様とともに構築していきたいと考えています。
https://cs2.toray.co.jp/news/tek/tek_newsrrs01.nsf/0/ECE4CB27E871A631492584A9003234AF