东丽：已开发的晶圆圆形涂层技术：用于LCD彩色滤光片的狭缝涂层机

东丽：已开发的晶圆圆形涂层技术：用于LCD彩色滤光片的狭缝涂层机

2019年11月5日

东丽工程：

开发了“利用狭缝涂布机晶圆的圆形涂布”的基本技术。

将来，我们将根据客户要求提供用于应用测试的设备（最大12英寸晶圆：可以进行样品原型制作）。

狭缝涂布机：晶圆涂布技术

LCD彩色滤光片的狭缝涂布机是我们的主要产品。
唯一一家销售G2中世界最大的G10.5尺寸的公司
向日本和海外客户交付700多台狭缝涂布机
拥有行业领先的结果。
我们将在未来有望扩展的半导体领域中扩展该狭缝涂布机。

我们最近开发了一种新的狭缝涂布机和涂布技术。

主要特点：

该狭缝涂布机的主要特征如下。

（1）可以应用于具有各种形状和包括圆形的不规则形状的基板。

②待涂液体不会从基材上突出，基本上不需要边缘冲洗和反冲洗。

③粘度范围广（1〜10,000mPa·s）。

（4）可以应用大范围的膜厚度（Wet1到几十微米）。

（5）与现有的旋涂机相比，液体的使用效率非常高（*参见下表）。

关于未来：

从常规旋涂机，喷涂机，辊涂机等中发现工艺变更需求。

我们还希望与客户建立新的生产流程。