NEDO：世界首款采用燃气 – 下一代功率半导体技术的单晶金刚石
– 通过开发钻石半导体实现快速节能社会 –
2019年3月20日
新能源开发组织
国家先进工业科学技术研究所
这是世界上第一次成功生产出1立方厘米体积的单晶金刚石，没有气体裂缝。
这一成就是实现大型晶圆的重要一步。
未来，我们将加速利用钻石开发下一代功率半导体。
功率半导体：
它是一种重要的设备，适用于各种设施和设备，如电力基础设施，汽车，铁路车辆，工业设备和家用电器，并支持其高性能和节能。
而不是2014年的硅（Si）
碳化硅（SiC）
氮化镓（GaN）
氧化镓（Ga2O3）
钻石
我们一直在推动技术开发，以实现功率半导体的商业化，我们的目标是高效，紧凑的电气设备。
其中，金刚石具有最高的物理性质，例如半导体材料中的耐电压和导热性。
AIST的结果：
世界上第一台微波等离子体CVD方法* 4成功生产出体积为1立方厘米的单晶金刚石，没有气体裂缝。
一种使用原料气体的方法，可以在合成区域轻松扩大规模。
通过制造世界上最大的晶体，可以实现英寸尺寸和大尺寸的晶圆。
此外，钻石可以在室温和压力下处理高空间分辨率的量子信息。
电力半导体等电子领域
自旋电子学*应用于5个领域，
高性能传感器和量子计算
2019年3月28日，由内阁办公室和NEDO共同赞助
SIP“下一代电力电子”开放研讨会上的结果报告和样本显示。