台积电:3nm制程会使用台湾半导体材料吗?
-计划2022年下半年开始量产3nm工艺-
台湾媒体报道:
台湾媒体经济日报(Daily Daily)报道。
台积电计划从 2022 年下半年开始量产的 3nm 工艺。
据说会使用台湾半导体材料。
量产供应商名单中有两家台资厂商。
中国砂环(中砂):用于 CMP 的金刚石圆盘。
光洋应用材料科技(光洋部门):从事溅射金属靶材。
3nm工艺原型阶段:
在传统的先进工艺中,使用了日本和美国材料制造商的先进工艺。
台湾制造,具有竞争力的价格,因其产品质量和优越性得到认可,并被采用。
两家公司均未披露与台积电的交易状况。
中国砂圈(中砂):
引进“与台积电相同的CMP设备、清洗设备、检验设备”。
持续改进内部金刚石磨片并成功开发新技术,
这一次,我们赢得了对台积电的交付。
光洋应用材料科技(光洋部):
我们已经在台积电南京工厂出货了 28nm 工艺的靶材。
与台积电合作:
我们开发了6N(纯度99.9999%)18英寸铜合金靶材。
自 2021 年底以来,我们一直在为先进工艺小批量发货。
台积电目前
溅射靶材,
它是从日本的JX Nippon Mining & Metals 和美国的Honeywell 采购的。
台湾、韩国、中国:
我们的目标是建立国内供应链,以确保经济安全。
韩国和中国也在努力在国内生产材料。
技术 +
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20220331-2308620/
TSMC: 3nm 공정으로 대만 기업제 반도체 재료를 채용?
ー2022년 하반기부터 3nm 프로세스를 양산 예정
대만 미디어 보도:
대만미디어경제일보(경옥일보)가 보도하고 있다.
TSMC가 2022년 하반기부터 양산 예정하고 있는 3nm 프로세스.
대만의 반도체 재료를 채용한다는 것.
양산 공급 업체 목록은 대만 재료 제조업체 2 개 회사를 설명합니다.
중국 사륜(중사): CMP용 다이아몬드 디스크를 다룬다.
광양 응용 재료과기(광양과): 스퍼터링 금속 타겟을 다룬다.
3nm 공정의 시작 단계:
종래의 첨단 프로세스에서는 일본이나 미국의 재료 메이커의 것이 사용되고 있었다.
가격 경쟁력이 있는 대만제가 제품 품질과 우위성을 인정받아 채용에 이르렀다.
두 회사 모두 TSMC와의 거래 상황에 대해 밝히지 않았다.
중국 사륜(중사):
「TSMC와 같은 CMP 장치나 세정 장치, 검사 장치」를 도입했다.
자사 다이아몬드 디스크의 개량을 계속해 신기술 개발에 성공,
이번에, TSMC에의 납입을 이겼다.
광양 응용 재료과기(광양과):
TSMC 난징공장의 28nm 프로세스용으로 타겟재를 출하해 왔다.
TSMC와 공동 개발:
6N(순도 99.9999%)의 18인치 구리 합금 타겟재를 개발했다.
2021년 말부터 첨단 프로세스용으로 소량 출하를 해왔다.
TSMC는 현재
스퍼터링용 타겟재를,
일본 JX 금속과 미국 Honeywell에서 조달하고있다.
대만, 한국, 중국:
경제안보 확보를 위해 국내 공급망 구축을 목표로 하고 있다.
한국이나 중국에서도 재료의 국산화를 향한 대처가 진행되고 있다.
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