レーザーテック：’OPTELICS® HYBRID+’発表：Hybrid lasermicroscope（動画）：
Lasertec:Announced a new product “OPTELICS® HYBRID +”:Hybrid laser microscope：
Lasertec：宣布新产品“OPTELICS®HYBRID +”：混合激光显微镜
レーザーテック：’OPTELICS® HYBRID+’
ハイブリッドレーザーマイクロスコープの最新モデルとして､’OPTELICS® HYBRID+’を発表しました。
レーザーコンフォーカルと白色コンフォーカルの2つの光学系を融合し、高機能と多機能性を実現。
「2020年1月東京ビックサイトで開催されるエレクトロテスト展」に､’OPTELICS® HYBRID+’を出展します。
’OPTELICS® HYBRID+’：主な改良点
ハードウェア：
- 光源の長寿命LED化、
- 分解能0.05nmのZスケールの採用、
- 8項目のハードウェア部の改良を実施しました。
ソフトウェア：
- 「計測アシスト機能」、
- 「AI検査」、
- 10項目の新規のソフトウェアを開発しました。
顕微観察の重要性：
現在、各種材料の各分野で、
- 半導体デバイス、
- 金属、
- 樹脂、
- 新素材等、
顕微観察では、「正確かつ迅速なデータ取得と解析」が重要なテーマ。
その為、装置のさらなる高性能化、汎用性の向上が求められております。
’OPTELICS® HYBRID+’：主な機能
OPTELICS HYBRIDシリーズに、
先ず、長寿命LED光源と高分解能Zスケールを採用。
次に、「計測アシスト機能」を新たに開発。
第一の機能：「LMカルテ」
測定方法やパラメータの設定（従来､測定者の経験に依存）により､最適測定手法をアドバイス、
第二の機能：「フィルターアシスト機能」
前処理プロセス/パラメータ（ノイズ処理等をはじめとする）を、この装置が支援します、
第三の機能：「LMアドバイザー」
測定情報から、「OK品とNG品を識別する為の管理項目」をアドバイス、
「AI検査」：自動検査ソフトに､機械学習/ディープラーニングを搭載。「AI検査」を新規に開発。
- ノンパターンの基板欠陥検査、
- パターン付きデバイス等の欠陥検査へ拡張、
- 取得した欠陥を分類する事が出来、
検査フィールドでの活躍の場が飛躍的に拡大します。
- ウェハの自動搬送、
- 測定精度を向上する高NA対物レンズ、
- Xθステージ等のハードウェアオプション、
’OPTELICS® HYBRID+’：利用分野
- 各種材料の観察および形状測定
- 半導体材料＆デバイス、
- 透明膜、
- MEMS、
- コーティング材料、
- 高機能フィルム、
- 無機・有機材料、
- 金属部品、
- プラスチック加工部品など
2020年｜トピックス｜レーザーテック株式会社