Lasertec：宣布新产品“OPTELICS®HYBRID +”：混合激光显微镜
Lasertec：“OPTELICS®HYBRID +”
宣布“OPTELICS®HYBRID +”为混合激光显微镜的最新型号。
激光共聚焦和白色共聚焦两个光学系统的融合，实现了高功能性和多功能性。
我们将在“ 2020年1月在东京国际展览中心举行的电子测试展览会”上展出“OPTELICS®HYBRID +”。
“OPTELICS®HYBRID +”：重大改进
硬体：
长寿命LED光源
采用分辨率为0.05 nm的Z标尺，
八个硬件部分已得到改进。
软体：
“测量辅助功能”，
“ AI检查”，
我们开发了10个新软件。
显微镜的重要性：
目前，在各种材料的各个领域，
半导体器件
金属
树脂
新材料等
在显微镜观察中，“准确，快速的数据采集和分析”是一个重要的主题。
因此，要求设备具有更高的性能和多功能性。
‘OPTELICS®HYBRID +’：主要功能
OPTELICS HYBRID系列，
首先，采用长寿命的LED光源和高分辨率的Z标尺。
接下来，新开发了“测量辅助功能”。
主要功能：“ LM图表”
通过设置测量方法和参数来建议最佳测量方法（通常取决于操作员的经验）
第二功能：“过滤辅助功能”
该设备支持预处理过程/参数（包括噪声处理等），
第三个功能：“ LM Advisor”
从测量信息中，建议“区分OK产品和NG产品的管理项目”，
“ AI检查”：具有机器学习/深度学习功能的自动检查软件。新开发的“人工智能检查”。
非图案板检查
扩展到图案设备等的缺陷检查
您可以对获得的缺陷进行分类，
检查领域的活动领域将急剧扩大。
自动传送晶圆
高NA物镜可提高测量精度，
硬件选项，例如Xθ平台，
“OPTELICS®HYBRID +”：使用领域
观察和形状测量各种材料
半导体材料和器件
透明膜
MEMS
涂层材料
高性能胶卷
无机和有机材料
金属零件
塑胶零件等
2020 ｜话题｜ Lasertec Corporation