AGC将大幅扩展EUVL面罩毛坯的供应系统
自动增益控制
从2003年开始进行光掩模坯料的研发,以用作使用EUV光刻技术的半导体生产中的消耗品。
通过结合其核心技术(即玻璃材料,玻璃加工和涂层),
它继续进行光掩模坯料的技术开发,并于2017年开始生产EUVL掩模坯料。
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已经进行了必要的投资以满足市场需求,并响应EUV光刻市场的进一步扩展,
作为世界上唯一的光掩模坯料制造商
决定大幅扩展EUVL面罩毛坯的供应系统。
作为世界上唯一可以处理从玻璃材料到涂料的各个方面的光掩模坯料的制造商,
2025年全球市场份额将达到50%
AGC将建立大规模生产系统以满足不断增长的市场需求,目标是到2025年实现400亿日元以上的目标销售额和50%的全球市场份额。
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