光电子之魂：大型加速器电子枪小型化：
-照射电子束的电子枪-
弹簧-8
巨大的电子枪
以大型辐射设施（SPring-8）为代表的大型加速器。
SPring-8配备了“发射电子束的巨型电子枪”。
大型加速器：
大型加速器
粒子，例如电子和质子，
加速到接近光速，
创造高能量状态。
它被用来“接近宇宙的起源，阐明蛋白质的三维结构”。
名古屋大学创业
光电子之魂
这种大型、高功率电子枪已经缩小尺寸。
半个世纪以来，首次对光源进行了小型化和革命化。
旨在发展为半导体检测设备、电子显微镜和表面处理。
半导体小型化：
电子枪发射的电子束是纳米级加工和检测必不可少的。
尤其是，越来越精细的半导体的重要性正在增加。
该公司的重点是“半导体硅晶片的缺陷检测过程”。
半导体制造前工序：
检查“待拍摄或曝光的硅片是否有异常”的过程。
由于“异常是由灰尘等引起的”，因此发生的位置是随机的。
光电子之魂
社长铃木孝之
目前的问题：
目前，他指出“主流的场发射（FE）类型需要16小时才能检查”。
消除电子枪的问题：
“作为电子枪标准方法的热离子发射型和FE型”有弱点。
关键在于“施加到样品的探针电流与光源的大小之间存在权衡”。
热电子发射型：
在热电子发射型中，可以增加电流，但光源尺寸较大。
场发射（FE）型：
FE型则相反，电流小，但光源尺寸可缩小到纳米级。
高分辨率分析是可能的。
FE 类型问题：
50多年前出生的FE型。
它彻底改变了用比热电子发射类型更小的光源尺寸照射电子束的能力。
然而，精品世界的局限性和时间成本问题已经出现。
“半导体光电阴极”法：
该公司使用一种称为“半导体光电阴极”的电子枪。
实现高效精细检测：
半导体光阴极是
使用高能加速器，
基本粒子和原子核的性质和行为，
观察的时候用过。
缩小到 1/6：
创建“大爆炸”状态
事实上，它是高产量和大
到目前为止，它一直是一个应用程序问题。
该公司已成功地将其缩小到传统尺寸的六分之一。
加速器半导体材料：
此外，产生电子束的内部半导体迅速劣化的事实也被认为是一个问题。
因此，加速器半导体材料是GaN。
劣化得到抑制，连续使用时间大大增加。
应用于电子显微镜和金属加工：
可以发射各种电子束，例如脉冲光和多电子束。
此外，半导体的检查时间也显着减少。
辐照时间减少到 1/10：
“探针电流表示施加到样品上的电流量”是 FE 方法的 10 倍或更多。
如果只是照射时间，通过简单的计算可以减少到1/10。
每年开始量产 10 台：
2020年作为半导体检测设备的一部分采用，每年量产约10台。
电子显微镜领域：
展望未来的是电子显微镜领域。
过去，很难捕捉移动的物体。
通过应用电子枪发出的脉冲光，我们的目标是连续捕获物体。
用于电池材料和医药：
预计可用于观察电池材料在金属表面的移动和医药产品。
金属加工领域：
此外，我们还将考虑金属加工等领域，例如 3D 打印机。
新开关