💡AIST:开发易于从透射电子显微镜图像中检测晶体缺陷的技术   20170921

💡AIST:开发易于从透射电子显微镜图像中检测晶体缺陷的技术
我们推动了下一代半导体器件工艺技术的改进与分布显示缺陷。开发图像处理技术,从透射电子显微镜的晶体结构图像中检测原子级缺陷

  1. 成功的可视化下一代半导体器件的缺陷分布
  2. 有助于建立低缺陷发生率的器件工艺
  3. 该技术的细节于9月19日在英国科学杂志“纳米技术”网络版上发布为“接受手稿”。

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2017/pr20170921/pr20170921.html